IGBT焊接/光电器件封装 真空共晶炉/真空回流焊机

一、 技术特点

1、洁净真空环境

真空室内所有结构件采用金属元件和绝缘陶瓷，并经过严格的**高真空抛光、去油、除气处理，保证腔体及炉内材料洁净无油，保证对处理产品无污染，影响产品性能。

2、均温性优

多次验证的设计经验与现代有限元分析软件的结合设计，使炉温均匀性能在±5℃以内；

3、追溯性及严谨性

标配 PLC、真空数据记录仪等,实现设备的智能化、人性化、 自动化,并严格按照既定工艺完成对应实验、生产要求,达到数据上的严谨性、和客观性。

4、真空度优

设备摒弃传统真空炉的扩散泵加机械泵的抽气组合，采用分子泵加机械泵组合，清洁无油，不会出现扩散泵的返油现象，保证真空室及处理材料的洁净度。*扩散泵的预热环节，启动时间快，真空获得时间短，大大提升生产效率。

5、压升率较低，控制在1pa/h以内

是否能将压升率做到较低的值是衡量真空技术水平的关键指标，对热处理产品质量及表面美观有直接影响，炉壳为全不锈钢材料，焊缝严格检漏，密封原件采用进口产品，并经特殊处理，保证将压升率控制在1pa/h以内，远**真空炉国内标准。

二、加热系统

1、加热区尺寸：850*680mm（L×ø）

2、加热功率：55 KW

3、加热元件：钼镧合金

4、隔热组件：钼镧合金+不锈钢

5、温度测量：N型热电偶

6、控温精度：±1℃

7、升温速率 MAX：由室温升至1000℃小于90min（空炉） 建议10℃/min，较快≤20℃/min

8、炉体及炉门：

炉体是严格按照国家真空标准设计，炉门的开启、关闭、锁紧操作简单、灵活、安全可靠，炉壳为圆形，双层水冷夹套结构（外筒体为优质碳钢材料，内筒体为304不锈钢材料），接管采用不锈钢或优质碳钢材质。系统在出厂前均经过严格的气压及真空测试，能够确保设备在长期使用过程中保持压升率优于1Pa/h。

9、加热室

采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构，各层之间采用优质99刚玉陶瓷，发热体为钼片，钼片均匀环绕在隔热屏周围，实现良好的温度均匀性。具有使用寿命长、隔热保温性能好、真气量较少。外框使用不锈钢（310S）板材料，并且焊接多道加强筋以保证不变形。

10、电气控制系统

（1）变压器：加热用变压器，采用低电压大电流，变压器副边通过铜排连接到水冷电极上，置于炉体左侧，周围安装有排风扇、保护罩，柜内保持与外部的绝缘及通风。

（2）电气控制柜：柜面安装真空计、触摸屏、无纸记录仪等仪表。柜内部安装布置各个电气元件。 

（3）电气控制简介： 

本设备采用PLC+触摸屏的数字式通讯控制模式，在触摸屏内可实现所有操作及状态数据显示。

1）手动、自动控制

本设备机械操作可分为手动模式和自动模式两种。几乎所有操作通过触摸屏完成，在自动模式中，可编程控制器PLC对除装卸炉料和开关炉门外的所有操作进行全自动过程控制。即一键可完成从抽真空、升降温、真空机组停机的所有工艺流程。

2）状态显示

  几乎所有状态可在触摸屏内显示，包括：泵、阀状态，温度、真空度、电压、电流、温控曲线等等。

3）温度控制

本设备通过高精度温控模块对加热器进行PID参数控制，升降温曲线可自行编程，参与到机械操作的自动模式中可自动完成加温、保温、降温的工艺流程，较多可设置30段升降温步骤，可存储50条工艺曲线。

4）数据记录

由触摸屏对真空度、温度等进行实时记录，记录数据可在屏内查阅或U盘导出PC端读取。

五、真空系统

真空机组采用分子泵机组（三级泵组），前级泵配置为1台BSV-90机械泵、主抽为2台FB-1600分子泵，机组总功率为5KW，其它辅助件有其它辅件有高真空气动蝶阀（高阀）、气动挡板阀（低阀、预抽阀）、放气电磁阀（防止返油）及真空管路等。相比扩散机组具有效率高、无污染、低能耗、低噪音等特点。系统极限真空优于6.67*10^-4Pa（空载、冷态、经净化）；工作真空优于6.67*10^-3Pa（空炉，900℃，保温1h）。

六、水冷系统：

真空炉炉体、炉门、真空机组、水冷电极都需要冷却水。该系统由主供水管分配到各冷却部位，采用闭式水循环系统，每个电极冷却均配有水流量观察仪，主管路配备水压报警系统。进水有分支接到自来水管道上，以备停电时紧急使用。

七、安全系统：

本设备为保护系统安全工作，提供了强大的安全保护措施，包括：全面的操作联锁措施，提供抽气主泵保护、充气阀的开关条件限制、加热条件限制等等。除操作联锁保护外，还配备了供电隔离变压器、滤波器、提供了回水温度过高、进水压力不足、加热**温、真空度低、压缩空气不足、等报警措施。